擴散爐多少錢一臺?擴散爐有哪些廠家?

中國電子科技集團公司第四十八研究所

江西展宇新能源股份有限公司

青島華旗科技有限公司

賽姆柯(蘇州)智能科技有限公司

山東力冠微電子裝備有限公司

擴散爐數據指標

設備用途：用于大規模集成電路、電力電子、光電器件、光導纖維等行業的氧化、擴散、燒結、合金等工藝。

設備特點：單元組合方式。根據工藝的不同，可以在主機的基礎上配氣源柜、超凈工作臺、懸臂推拉舟等。

主要技術指標：

爐管數：1～4管

配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)

恒溫區長度：760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

單點穩定性：±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)

氣源路數： ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點火器

氣體控制： 浮子/質量流量計

懸臂舟參數：速度： 20～1000 mm/min 行程：2000 mm 定位精度：±1 mm 載荷：17 Kg

超凈工作臺：凈化等級：100級(萬級廠房)

噪音： ≤62dB(A)

振動： ≤3μm